熱(re)式氣(qi)體(ti)(ti)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)計(ji)是(shi)(shi)一種(zhong)基于(yu)熱(re)擴散(san)原(yuan)理(li)或熱(re)傳導原(yuan)理(li)設計(ji)的流量(liang)(liang)(liang)儀表，用于(yu)測量(liang)(liang)(liang)氣(qi)體(ti)(ti)的質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)。以下是(shi)(shi)對熱(re)式氣(qi)體(ti)(ti)質(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)計(ji)的詳(xiang)細介紹：

一、工作原理

熱(re)式氣體質量(liang)流量(liang)計通常(chang)由(you)兩個(ge)基準(zhun)級(ji)熱(re)電(dian)阻（RTD）組成，一個(ge)是速度傳(chuan)感器(qi)RH（加熱(re)器(qi)），另(ling)一個(ge)是測量(liang)氣體溫(wen)度變化的溫(wen)度傳(chuan)感器(qi)RMG。傳(chuan)感器(qi)通常(chang)采用(yong)可(ke)供直流通電(dian)的純電(dian)阻絲或薄膜(mo)材料(liao)制(zhi)成，用(yong)于加熱(re)和測溫(wen)。

當加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)RH被通(tong)電加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)到設定(ding)溫(wen)度(du)并保(bao)持穩定(ding)的熱(re)(re)平衡時，如果氣體(ti)流(liu)過(guo)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)，氣體(ti)會帶(dai)走一部分熱(re)(re)量(liang)，導(dao)致傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)溫(wen)度(du)降(jiang)低(di)。測(ce)溫(wen)器(qi)(qi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)RMG位(wei)于(yu)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)傳(chuan)(chuan)感(gan)(gan)器(qi)(qi)的下(xia)游，只測(ce)量(liang)氣體(ti)的溫(wen)度(du)而不受氣體(ti)質(zhi)(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)的直接影響。通(tong)過(guo)測(ce)量(liang)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)和測(ce)溫(wen)器(qi)(qi)之間的溫(wen)差(cha)（△T）來確定(ding)氣體(ti)質(zhi)(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)，溫(wen)差(cha)與(yu)氣體(ti)的質(zhi)(zhi)量(liang)流(liu)量(liang)呈一定(ding)的比例(li)關系。當氣體(ti)流(liu)量(liang)增(zeng)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)時，氣體(ti)帶(dai)走的熱(re)(re)量(liang)也增(zeng)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)，導(dao)致加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)溫(wen)度(du)下(xia)降(jiang)更多，從而增(zeng)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)了加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)器(qi)(qi)與(yu)測(ce)溫(wen)器(qi)(qi)之間的溫(wen)差(cha)。

根(gen)據加(jia)熱(re)(re)器(qi)與測溫器(qi)之間的溫差以(yi)及已知的加(jia)熱(re)(re)器(qi)特性(xing)(xing)和氣(qi)體性(xing)(xing)質(zhi)(zhi)，利用熱(re)(re)效應的金氏定律等數學關系(xi)式（如P/△T=K1+K2 f(Q)K3，其中P為(wei)加(jia)熱(re)(re)功率，△T為(wei)溫差，Q為(wei)質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)，K1、K2、K3是與氣(qi)體物理性(xing)(xing)質(zhi)(zhi)有(you)關的常數），可以(yi)計算出氣(qi)體的質(zhi)(zhi)量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)。

二、特點

1. 高精度測量：熱式氣體質量流量計采用直接測量氣體質量流量的方式，不需要對溫度、壓力、濕度等參數進行補償和修正，因此具有高精度的測量結果。
2. 測量范圍廣：該流量計的測量范圍很廣，可以適應不同流量和介質種類的測量需求。
3. 可靠性高：熱式氣體質量流量計結構簡單，測量元件不易損壞，因此具有較高的可靠性和穩定性。
4. 響應速度快：該流量計能夠快速地反映流量變化情況，這對于需要實時監測流量的應用場合非常有利。
5. 測量不受流體物性影響：熱式氣體質量流量計的測量結果不受流體物性（如溫度、壓力、濕度、成分等）的影響，因此具有很好的通用性。

三、優缺點

優點：

1. 直接測量質量流量，無需進行溫度和壓力的補償。
2. 響應速度快，能夠實時反映流量變化。
3. 測量范圍廣，適用于多種氣體和流量范圍。
4. 穩定性好，使用壽命長。

缺點：

1. 對流場要求較高，需要保持穩定的流場才能獲得準確的測量結果。
2. 受環境溫度影響，需要進行溫度補償以消除影響。
3. 對管道材料有要求，需要具有良好的導熱性能。
4. 價格相對較高，增加了工程成本。

四、應用領域

熱式氣體(ti)質(zhi)量(liang)流量(liang)計(ji)在多個領域(yu)都(dou)有廣泛的(de)應用，包括但不限于：

1. 化工行業：用于監測氣體反應過程中的流量，確保反應的穩定性和安全性。
2. 石油和天然氣：在油氣開采和運輸過程中實時監測氣體流量，優化資源利用。
3. 環保監測：用于廢氣排放監測，幫助企業遵守環保法規。
4. 食品和飲料：在生產過程中監測氣體流量，確保產品質量和安全。

此外(wai)，它(ta)還可(ke)用于氧(yang)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、氮氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、氫氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、氯氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)及多(duo)組分氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；高爐(lu)(lu)煤(mei)(mei)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、焦(jiao)爐(lu)(lu)煤(mei)(mei)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；煙(yan)(yan)道(dao)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；沼氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、水(shui)處理中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)曝氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)和(he)氯氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；壓(ya)縮空(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；天然(ran)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、液化氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)、火炬氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)等氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；電廠(chang)(chang)高爐(lu)(lu)的(de)一(yi)次風(feng)、二(er)次風(feng)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；礦井下通風(feng)或排(pai)風(feng)系(xi)統流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；燃(ran)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)過程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；煙(yan)(yan)囪排(pai)出的(de)煙(yan)(yan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)（速）測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)（CEMS）；煅燒(shao)爐(lu)(lu)煙(yan)(yan)道(dao)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；水(shui)泥、卷煙(yan)(yan)、玻璃(li)廠(chang)(chang)生產(chan)過程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；溶劑回收系(xi)統中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；半導體(ti)芯片制作過程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；啤酒生產(chan)過程(cheng)(cheng)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)二(er)氧(yang)化碳(tan)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；加熱(re)通風(feng)和(he)空(kong)調系(xi)統中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)的(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)（速）測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)；燃(ran)煤(mei)(mei)鍋爐(lu)(lu)中(zhong)(zhong)(zhong)(zhong)燃(ran)燒(shao)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)流(liu)(liu)(liu)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)測(ce)(ce)(ce)(ce)(ce)量(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)(liang)等。

五、分類與安裝方式

熱式氣(qi)體(ti)質量(liang)(liang)(liang)流量(liang)(liang)(liang)計(ji)(ji)(ji)按安裝方式分(fen)為插(cha)入式和管(guan)(guan)段式，適用(yong)(yong)于(yu)不(bu)(bu)同管(guan)(guan)道(dao)直(zhi)(zhi)徑的(de)場合。插(cha)入式流量(liang)(liang)(liang)計(ji)(ji)(ji)可(ke)以直(zhi)(zhi)接插(cha)入到管(guan)(guan)道(dao)中進行測(ce)量(liang)(liang)(liang)，適用(yong)(yong)于(yu)管(guan)(guan)道(dao)直(zhi)(zhi)徑較(jiao)大且不(bu)(bu)易拆卸的(de)場合；管(guan)(guan)段式流量(liang)(liang)(liang)計(ji)(ji)(ji)則需(xu)要將(jiang)管(guan)(guan)道(dao)切斷一段后安裝，適用(yong)(yong)于(yu)需(xu)要精(jing)確測(ce)量(liang)(liang)(liang)且管(guan)(guan)道(dao)直(zhi)(zhi)徑較(jiao)小(xiao)的(de)場合。

綜(zong)上所(suo)述，熱式(shi)氣體(ti)質量流量計具有高(gao)精度、測量范圍廣、可靠性高(gao)、響應速度快和不受流體(ti)物性影響等優點，在多個領域(yu)都有廣泛的應用。但在使用過程中(zhong)也需要注(zhu)意其對(dui)流場、環(huan)境溫度和管道材料的要求以及價(jia)格(ge)較高(gao)的缺點。